热场电子源

电子束设备核心零部件

• 电子束设备包含：半导体量测CDSEM、检测EBI设备、ReviewSEM、电子束曝光机EBL，科学仪器SEM、TEM、FIB设备。

• 电子显微镜通过电子束扫描成像，突破了光学衍射限制，其分辨率（亚纳米级）显著高于光学显微镜（微米级）。

• 电子枪是用来产生电子束的部件，是电子显微镜的重要组件之一，电子枪主要由电子源和阳极组成，热场电子源是半导体工业必需的电子源。